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离子泵电源
编号:SN20150731221601599
种别:系列溅射离子泵
  • 产物概述
  • 规格参数
  • 效劳支撑

        离子泵电源

        1、 产业级触摸屏设置

    装备大尺寸触摸屏,内含近程(modbus)通信体系,使操纵越发便利。

        2、 远端掌握形式

    装备远端掌握形式,具有I/O、RS-232/RS-485(modbus)两种形式。

        3、 显现功用

    显现分辨率高达10nA,可显现电压、电流、真空度等多种目标。

        4、 可预编程设置

    预设操纵顺序,菜单读取离子泵参数,关于适用于齐系列离子泵。

        5、 烘烤可控形式

    烘烤温度100-300℃一连可调。

        6、下可靠性

    电子元器件悉数选用国际知名供应商RS公司,确保离子泵电源的下可靠性。

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