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立式MBE-400型份子束内涵发展装备
编号:SN20151013154029889
种别:蒸发镀膜装备
  • 产物概述
  • 规格参数
  • 效劳支撑

    装备用处

        份子束内涵重要研讨的是差别构造或差别质料的晶体和超晶格的发展。该法发展温度低,能严格控制内涵层的层薄组分和搀杂浓度。

     

    装备构成

        该体系重要由真空得到体系、内涵发展体系(内涵室)、快速进样体系(进样室)、高能电子衍射体系、电器控制系统、计算机控制系统等构成。

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