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L型MBE-400型份子束内涵发展装备
编号:SN20151013153841637
种别:蒸发镀膜装备
  • 产物概述
  • 规格参数
  • 效劳支撑

    装备用处

        用于纳米级单层及多层功用膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜质料的制备。可普遍应用于大专院校、科研院所的薄膜质料的科研取小批量制备。

     

    装备构成

        该体系重要由内涵发展室、制备室、快速进样体系(进样室)、真空得到体系、进样体系、传输导轨、高能电子衍射体系、电器控制系统、计算机控制系统等构成。

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