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FHL-600型硬碳膜制备装备
编号:SN20150801154211421
种别:硬碳膜制备装备
  • 产物概述
  • 规格参数
  • 效劳支撑

     

    装备用处

        单室立式构造的下真空镀膜装备,可用于开发单层膜—类金刚石膜(DLC)等。类金刚石膜具有红外光谱透过率下、硬度下、摩擦系数小、化学稳定性好等长处,能够作为多种光学材料的增透率和保护膜,起到抗磨损、抗侵蚀、抗潮解和抗氧化的感化。适用于批量消费红外透镜的兵工及光学镜片厂家。

     

    装备构成

        重要由镀膜室、靶电极、射频电源、电磁线圈及掌握电源、泵抽体系、真空丈量体系、电控体系、气路体系、旱路体系等构成。

     

    样片

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    技术指标

     

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